通常，按加工精度劃分，機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1m，表面粗糙度為Ra0.1~0.01m，公差等級在IT5以上的加工技術(shù)。
但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念，其間的界限將隨著加工技術(shù)的進步不斷變化，今天的精密加工可能就是明天的一般加工
凸起字樣被緩慢地往下壓進底部，最后變成平滑表面
看似現(xiàn)代科技的超精密加工在上個世紀早已出現(xiàn)
超精密加工的發(fā)展經(jīng)歷了如下三個階段：
（1）20世紀50年代至80年代為技術(shù)開創(chuàng)期
出于航天、大規(guī)模集成電路、激光等尖端技術(shù)發(fā)展的需要，美國率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。
（2）20世紀80年代至90年代為民間工業(yè)應用初期
在政府的支持下，美國的摩爾公司、普瑞泰克公司開始超精密加工設(shè)備的商品化，而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學等也陸續(xù)推出產(chǎn)品，并開始用于民間工業(yè)光學組件的制造。但當時的超精密加工設(shè)備依然高貴而稀少，主要以專用機的形式訂作。
在這一時期，可加工硬質(zhì)金屬和硬脆性材料的超精密金剛石磨削技術(shù)及磨床被開發(fā)出來，但其加工效率無法和金剛石車床相比。
（3）20世紀90年代至今為民間工業(yè)應用成熟期
在汽車、能源、醫(yī)療器材、信息、光電和通信等產(chǎn)業(yè)的推動下，超精密加工技術(shù)廣泛應用于非球面光學鏡片、Fresnel 鏡片、超精密模具、磁盤驅(qū)動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等零件的加工。隨著超精密加工設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅(qū)動進給軸也逐漸成熟，超精密加工設(shè)備變?yōu)楣I(yè)界常見的生產(chǎn)機器設(shè)備。
此外，設(shè)備精度也逐漸接近納米級水平、可加工工件的尺寸范圍也變得更大，應用越來越廣泛。隨著數(shù)控技術(shù)的發(fā)展，還出現(xiàn)了超精密五軸銑削和飛切技術(shù)。已經(jīng)可以加工非軸對稱非球面等復雜零件。
以上是“三大時期”下面還有“三大趨勢”
超精密加工的發(fā)展趨勢主要為以下三個方面：
(1) 高精度、高效率
超精密加工永恒的主題。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標。
(2) 工藝整合化
高生產(chǎn)效率越來越成為企業(yè)賴以生存的條件，于是出現(xiàn)了“以磨代研”甚至“以磨代拋”的呼聲。此外，使用一臺設(shè)備完成多種加工(如車削、鉆削、銑削、磨削、光整)的趨勢越來越明顯。
(3) 大型化、微型化
加工航空、航天、宇航等領(lǐng)域的大型光電子器件，需要建立大型超精密加工設(shè)備；加工微型電子機械、光電信息等領(lǐng)域的微型器件，需要微型超精密加工設(shè)備。
世界最大口徑天文球面射電望遠鏡
總的來說，超精密磨削、珩磨等固著磨粒超精密加工技術(shù)正在追求游離磨粒加工技術(shù)的加工精度，而游離磨粒超精密加工技術(shù)正在追求固著磨粒加工的效率。超精密加工技術(shù)正向著適于大批量生產(chǎn)的高效高質(zhì)量、低成本、環(huán)境友好的方向發(fā)展。
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